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硅晶圓的生產(chǎn)清洗用水主要應用的是超純水設備所產(chǎn)出的超純水，該設備主要采用的工藝為預處理+反滲透+EDI模塊組合形式。整體工藝具有高效低能、運行成本低，水資源利用率高、運行時間長等優(yōu)勢。...

超純水設備可連續(xù)，穩(wěn)定地生產(chǎn)高純度的超純水，無須因樹脂再生而停機。整個設備搭載了PLC智能化程序，能靈活方便地進行操作，節(jié)省了人力投入，并采用新型材料對管道表面進行處理，保證系統(tǒng)運行無污染物析出，...

超純水系統(tǒng)是一種用于制備超純水的設備和技術。超純水是指水中不含任何雜質(zhì)，包括離子、有機物、微生物等。這種水平對于電子芯片制造和實驗室研究來說是至關重要的。...

超純水設備采用了雙級反滲透系統(tǒng)+EDI模塊的處理工藝，出水電阻率可達16 MΩ*cm(25℃)。這種水中除了氫原子和氧原子之外，基本不含有任何其他物質(zhì)，比普通純凈水水質(zhì)更高，并且是一種非飲用水。...

超純水設備采用了獨有的靶向離子交換系統(tǒng)針對超純水中難處理的硼及其他離子定向去除，PLC智能化程序能靈活進行操作。...

芯片生產(chǎn)中使用的超純水系統(tǒng)內(nèi)部還安置的反滲透預脫鹽技術，從根本上保障了超純水出水水質(zhì)，不會對環(huán)境造成污染，對于保護環(huán)境來說有著重要的意義。...